项目动态 | 中导光电NanoPro-200正式发布，国产半导体检测再添 “硬核装备”

近日，中导光电正式推出NanoPro-200系列40 纳米前道过程检缺陷检查机！

这一核心产品的落地，不仅标志着我国在中高端半导体检测设备领域实现关键突破，更打破了国际巨头长期垄断，为“中国芯”前道制造筑牢国产化检测屏障，为我国半导体产业突破前道检测设备“卡脖子”困境注入强劲动力。

NanoPro-200设备适用于12英寸晶圆65~90nm技术节点工艺制程。值得关注的是，该设备实现了精密光机电关键核心部件的高度国产化，国产化率超 95%。这一突破带来了多重行业利好：

• 摆脱进口依赖：保障了设备量产与稳产的稳定性。

• 降低企业成本：显著降低了国内晶圆厂的设备采购与运维成本。

• 提升服务效率：解决了进口设备采购周期长、售后响应慢等行业难题。

中导光电产品部负责人表示，此前公司 NanoPro-150 型号设备已在国内半导体头部企业量产线长期稳定运行，并多次获得复购订单，而40纳米级检测设备的性能在NanoPro-150的基础上实现全面升级，将进一步适配更高端的半导体制造场景。

作为国家专精特新“小巨人”企业与国家知识产权优势企业，中导光电深耕半导体检测领域近二十年，累计获得国内外各类知识产权逾百件，构建起覆盖28nm级检测精度的核心技术体系。

公司纳米级、亚微米级和微米级设备累计销售逾500台，长期稳定运行于众多量产线，其半导体缺陷检测产品已获得国内半导体头部晶圆厂的认可与复购。

此次40纳米前道过程检缺陷检查机的发布，是公司技术积累的重要成果。未来，中导光电将持续深耕半导体检测领域，以更多硬核技术成果，助力国产半导体产业高质量发展。

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